Ahmad Khanประธานหน่วยธุรกิจ Semiconductor Process Control ของ KLA กล่าวว่า “ระบบมาตรวิทยาด้วยเอ็กซเรย์ Axion T2000 ใหม่ของเราคือตัวเปลี่ยนเกมสำหรับการควบคุมกระบวนการแบบอินไลน์ระหว่างการผลิตอุปกรณ์ 3D NAND และ DRAM ขั้นสูง” “เมื่อใช้เทคโนโลยี X-ray แบบส่องผ่าน Axion T2000 จะสร้างภาพ 3 มิติที่สมบูรณ์ของโครงสร้างอัตราส่วนภาพสูงอย่างรวดเร็วตามลำดับ 100:1 หรือสูงกว่า จากด้านบนสุดจนถึงด้านล่างสุดของคุณสมบัติแนวตั้งสุดโต่งเหล่านี้
ข้อมูล Axion อำนวยความสะดวกในการควบคุมที่รัดกุม ของพารามิเตอร์ที่สำคัญ เช่น ความกว้าง
รูปร่าง และความเอียง นอกจากนี้ ด้วยการวัดแบบอินไลน์ Axion ช่วยลดเวลารอบการทำงานที่จำเป็นในการแก้ปัญหาผลผลิตที่สำคัญและความน่าเชื่อถือระหว่างการผลิตชิปหน่วยความจำในปริมาณมาก”
Axion T2000 เป็นระบบ CD-SAXS (การกระเจิงของรังสีเอกซ์มุมวิกฤตขนาดเล็ก)
โดยใช้ประโยชน์จากเทคโนโลยีรังสีเอกซ์ที่ไม่เหมือนใครในอุตสาหกรรมเพื่อสร้างการวัดความละเอียดสูงของมิติที่สำคัญและรูปร่าง 3 มิติของคุณสมบัติอุปกรณ์หน่วยความจำ แหล่งกำเนิดฟลักซ์สูงให้รังสีเอกซ์ที่ส่งผ่านโครงสร้างหน่วยความจำแนวตั้งทั้งหมด โดยไม่คำนึงว่าวันนี้หรือในอนาคตจะสูงเพียงใด ทำให้สามารถวัดรูปร่างของอุปกรณ์ที่ซับซ้อนได้ เวทีที่มีช่วงไดนามิกชั้นนำของอุตสาหกรรมช่วยให้ได้ภาพการเลี้ยวเบนในหลายมุมเพื่อแสดงข้อมูลทางเรขาคณิต 3 มิติที่สมบูรณ์ อัลกอริธึม Novel AcuShape®
ช่วยอำนวยความสะดวกในการวัดค่าพารามิเตอร์ของอุปกรณ์ที่สำคัญจำนวนมาก
และแยกความแตกต่างเล็กน้อยที่อาจส่งผลต่อการทำงานของชิปหน่วยความจำขั้นสุดท้าย ด้วยนวัตกรรมเหล่านี้ด้วยการทำงานหลายระบบที่ผู้ผลิตหน่วยความจำชั้นนำ Axion T2000 เข้าร่วมตระกูลระบบมาตรวิทยาขั้นสูงของ KLA ในการให้การวัดค่าพารามิเตอร์ที่ซับซ้อนอย่างแม่นยำสำหรับผู้ผลิต 3D NAND และ DRAM กลุ่มผลิตภัณฑ์มาตรวิทยาที่ครอบคลุมของ KLA
ครอบคลุมการใช้งานด้านมาตรวิทยาอย่างเต็มรูปแบบตั้งแต่การวิจัยและพัฒนาในช่วงแรกจนถึงการผลิตในปริมาณมาก โดย สร้างข้อมูลที่ขับเคลื่อนทางลาดเร็วขึ้น คุณภาพอุปกรณ์ที่ดีขึ้น และผลผลิตที่สูงขึ้น เพื่อรักษาประสิทธิภาพและผลิตภาพ ระดับสูง Axion T2000
ได้รับการสนับสนุนโดยเครือข่ายบริการที่ครอบคลุมทั่วโลกของ KLA หากต้องการเรียนรู้เพิ่มเติมเกี่ยวกับระบบมาตรวิทยาเอ็กซ์เรย์ Axion T2000 ใหม่ โปรดไปที่ ห้องข่าวKLA AdvanceKLA Corporation พัฒนาอุปกรณ์และบริการระดับแนวหน้าของอุตสาหกรรมที่ช่วยให้เกิดนวัตกรรมทั่วทั้งอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ เรานำเสนอโซลูชันการควบคุมกระบวนการขั้นสูงและกระบวนการที่เปิดใช้งานสำหรับการผลิตแผ่นเวเฟอร์และเรติเคิล วงจรรวม บรรจุภัณฑ์ แผงวงจรพิม
credit : สล็อตยูฟ่าเว็บตรง / สล็อตเว็บตรง แตกหนัก
